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        PVD前清洗方法大全

        清洗方法:超聲波清洗法

        清洗手段:采用純水、中性洗滌劑、異丙醇液體甲基睪丸酮等洗滌介質(zhì)

        清洗過(guò)程:本法作為擦洗清洗后的處理工藝清除油脂污物,其過(guò)程是光用中性洗滌劑逆行擦洗,然后用純水超聲波清洗15分鐘。之后純水沖洗。再用異丙醇超聲波清洗15分鐘,之后異丙醇清洗,最后用純水超聲波清洗后純水沖洗。然后經(jīng)氮氣吹風(fēng)機吹干。




        清洗方法:離子轟擊清洗法

        清洗目的:去除表面污物和吸附物

        清洗手段:采用離子轟擊

        清洗過(guò)程:基片置于10~1000Pa的真空室中施加0.5~1KV高壓產(chǎn)生低能量的輝光放電后使加速的正離子轟擊基片表面。

        清洗方法:烘烤清洗法

        清洗目的:去除水分子

        清洗手段:采用加熱使基片升溫

        清洗過(guò)程:在高真空中將基片加熱到200℃后去除基片上殘余的清洗液及水分。也可以在大氣下加熱到300-500℃高溫,加熱時(shí)間在30-60分鐘。

        清洗方法:蒸汽清洗法

        清洗目的:去除油脂等碳氫化合物

        清洗手段:采用甲基睪丸丙酮、異丙烯、三氯乙烯等蒸汽

        清洗過(guò)程:先進(jìn)行擦洗清洗或超聲波清洗后再用此法。其過(guò)程是將基片放在沸騰的甲基丸酮、異丙烯或三氯乙烯蒸汽中使附著(zhù)的油脂溶解。

        清洗方法:紫外線(xiàn)和臭氧清洗法

        清洗目的:去除動(dòng)脂等有機物

        清洗手段:采用紫外線(xiàn)和臭氧的物理化學(xué)作用

        清洗過(guò)程:本法是作為上述各種方法的后處理工藝來(lái)使用,其過(guò)程是將基片置放在低壓紫外線(xiàn)輻照器和臭氧發(fā)生器下面用紫外線(xiàn)向臭氧照射幾十秒,紫外線(xiàn)強度在基片為5mm處為1.6mw/cm2,臭氧發(fā)生器距基片約為6cm.

        鍍前處理方法:有機溶劑去油法

        清洗目的:去油

        工藝過(guò)程式配方:三氯乙烯、三氯三氟乙烷、二氯二氟乙烷、汽油、丙酮、四氯化碳溶制等溶液。去油規程是:汽油擦去零件表面油脂,放入溶液缸內浸洗3-10分鐘,再放三氯乙烯槽用超聲波去油5-10分鐘。

        備注:三氯乙烯去油效果最好,但毒性大,用時(shí)應注意通風(fēng)。鋁、鎂零件等用三氯乙烯。

        鍍前處理方法:汽油、丙酮聯(lián)合去油法

        清洗目的:去油

        工藝過(guò)程式配方:先對零件表面用汽油浸泡的棉紗擦洗,或在汽油內進(jìn)行超聲波清洗12-20分鐘,汽油除油后再用丙酮除油,方法如上。

        鍍前處理方法:堿溶液化學(xué)去油法

        清洗目的:利用浮化作用去掉金屬表面上的礦物油

        工藝過(guò)程式配方:可在海鷗洗凈劑與水配比為1:10的溶液中煮沸10-15分鐘,或用超聲波振動(dòng)20-30分鐘去油。

        鍍前處理方法:乳化去油法

        清洗目的:去除金屬上粘附的潤滑油脂

        工藝工程式配方:配方為:O·P乳化劑:5-8g/l

        水玻璃:50-60g/l

        105號洗滌劑:5-10g/l

        焦磷酸鈉:3-15g/l

        將焦磷酸鈉放入油槽攪拌均勻,按規定量放入O·P乳化劑、水玻璃和105號洗滌劑,不斷攪拌注入適量水,保持溫度30℃左右即可。

        鍍前處理方法:電化學(xué)去油法(即電解去油法)

        清洗目的:去油

        工藝過(guò)程式配方:以被去油零件為一個(gè)電極(常用陰極)加上直流電壓,電解液為10-20%的NaOH或純堿,工作溫度為30-80℃

        鍍前處理方法:金屬零件去污法

        清洗目的:去除零件表面的氧化物、毛刺、疏松結構

        工藝過(guò)程式配方:用一定流速的氧化鎂細粉和水的混合物向金屬零件表面噴射,也可用滾筒內加磨料(如金剛細沙、木屑、棉籽皮等)進(jìn)行拋磨。

        鍍前處理方法:金屬零件化學(xué)清洗法

        清洗目的:去掉表面氧化物氧化膜的各種污物

        工藝過(guò)程式配方:一般是先按上法去油,再在化學(xué)清洗液中浸洗,用自來(lái)水沖洗5-15分鐘,再浸入2-5%的氨水溶液中和,再用自來(lái)水沖洗后,去離子水浸洗兩次,最后用無(wú)水乙醇浸泡脫水,再用80-100℃干燥箱烘干或熱風(fēng)吹干。

        備注:工業(yè)上應用時(shí),可用氟利昂代替無(wú)水乙醇。

        鍍前處理方法:刀具鍍TiN的鍍前處理法

        清洗目的:去油、去污、清楚表面疏松組織及毛刺脫水等

        工藝過(guò)程式配方:三氯乙烯浸泡3分鐘去油,帶有蒸汽的三氯乙烯浸泡和蒸汽浴3分鐘,50℃堿性金屬清洗機超聲波清洗3分鐘,25℃去離子水浸泡,可流動(dòng)水沖洗及超聲波液處理,氟利昂113浸泡3分鐘并附以手動(dòng)噴槍噴射F113處理過(guò)程應在良好通風(fēng)的系統中進(jìn)行。

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